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RF射频电源维修常见故障及其维修方法

新葡萄京娱乐场手机版凌科时间:2019-04-29 10:59:38

现在很多的企业因为生产的需要会引入各种不同的生产设备,这些设备需要进行大功率运转,所以在一定程度上来说,会对电压电流有所要求。尤其是在一些化工产品的生产上,设备中电流电压维持在比较稳定的水准之后,其实可以带来更高的生产效率。RF射频电源也算是现在很多企业生产过程中常用的设备之一,这种设备使用频率较高,而且经常会遇上各种不同的生产环境,操作手法,出现故障也不奇怪。
 
射频电源的用途及工作原理是射频电源是用于镀膜设备中旅,通过该设备中的功放模块产生高频电压、电流,将常规使用的220V电压和频率50/60MHZ转换为可变的13.56MHZ电压电流。在半导体制造行业中,在生产芯片、处理器等半导体器件、薄膜太阳能电池、液晶等平板显示器过程中,都要用到这种电源。是产生等离子体的配套电源,由射频功率源,阻抗匹配器以及阻抗功率计组成,是八十年末期在我国新兴的高科技领域,应用于射频溅射,PECVD 化学气相沉积,反应离子刻蚀等设备中。
 
RF射频电源维修可以通过两方面来进行,一方面是断电情况下的观察,另一方面是加电进行测试。在断电情况下,可以通过“看、闻、问、量”来确定开关电源的损坏原因。
 
 
看:RF射频电源维修的外壳,检查保险丝是否熔断,再观察电源的内部情况,如果发现电源的PCB板上有烧焦处或元件破裂,则应检查此处元件及相关电路元件。闻:闻一下电源内部是否有糊味,检查是否有烧焦的元器件。问:问一下电源损坏的经过,是否对电源进行违规操作。量:没通电前,用万用表量一下高压电容两端的电压。如果是开关电源不起振或开关管开路引起的故障,则大多数情况下,高压滤波电容两端的电压未泄放悼,此电压有300多伏,需小心。用万用表测量AC电源线两端的正反向电阻及电容器充电情况,电阻值不应过低,否则电源内部可能存在短路。电容器应能充放电。脱开负载,分别测量各组输出端的对地电阻,正常时,表针应有电容器充放电摆动,并且指示的应为该路的泄放电阻的阻值。
 
RF射频电源维修不仅仅是局限于电源本身,很多时候还想要根据其他的联系因素来判断,现在维修人员也会对这种类型的电源进行数据记录,以便后续出现问题的时候可以作为参考对比资料。

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