如何精准的对RFPP射频电源进行维修
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?射频电源RFPP技术是在美国一家从事射频电源及匹配器生产的公司开发的,新型是RFPP射频电源技术承自美国老牌射频电源制造公RFPP射频电源主要是作用在等离子体工业设备上的驱动源,其主要的用途是用在镀膜、等离子体清洗、CO2激光器等设备上。像世界上一些有名的RFPP射频电源,有AE、MKS、COMDEL等;功率有600W 1000W 2000W 3000W 5000W;RFPP射频电源凭借着可以灵活改变匹配交改变电压的功能成功的取代了现在使用很广泛的高频电源。在实际使用的过程中,一套1KW的RFPP射频电源能够通过匹配器修改匹配角后的输出达到6KV的电压,在放电稳定后又通过自动调节匹配角降低放电电压。 RFPP射频电源系统已经可以广泛的应用于半导体工业。像在RFPP射频电源系统中包括刻蚀、RIE、平行板 、ICP、射频溅射、CVD和PVD等系统。?
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在目前运用RFPP系统的RFPP射频电源维修中,主要维修以下的范围:RFPP射频电源维修包括太阳能光伏、半导体、镀膜,薄膜、等离子注入射频电源维修、刻蚀,平板显示,光盘、光电子LED等制造工艺射频电源维修以及科研院校、技术研究所等设备的射频电源维修、高压电源维修、直流电源维修、RFPP射频电源维修、RFPP射频电源匹配器维修、激光电源维修等。
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想要准确的对RFPP射频电源进行维修,就要弄清楚RFPP中各功能的设计原理和目的
像是RFPP射频电源中双输出功率范围可实现高精度控的制设计,电源使用范围一般为百分之十到百分之九十,低于百分之十精度无法保证,但赛恩(Seren)电源在使用低功率时,可选择百分之十输出,这样可以保证在低功率输出时同样保持较高的精度。此功能对于一些研发机构非常适合,一台电源可以当两台电源来使用。在RFPP射频电源维修中也是维修者所要掌握的常识性问题。
维修者还要搞清楚RFPP射频电源维修中的预设值等离子体启辉电路设计在等离子体启辉时,可以迅速匹配到合适位置,减少C-Tune/C-Load搜寻时间,即减少了反射功率过高的时间。可以起到保护电源的作用。知道可选择的电流工作模式
对于PECVD而言,电流决定了沉积速度。如果是多电极阵列式PECVD,为使镀膜更均匀,选用电流模式可以大幅降低因电极间差异、气氛浓度差异等产生的薄膜沉积的不一致,提高各电极间镀膜的均匀性。赛恩除了提供电流模式外,也提供传统的功率模式。

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